气体静压轴承设计及关键零件加工工艺研究

发布时间：2017-09-24 19:33

  本文关键词：气体静压轴承设计及关键零件加工工艺研究

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【摘要】：气体静压主轴广泛地应用于精密、超精密机床设备中,其核心零件的加工精度是主轴性能优劣的重要影响因素。本文以自主设计的气体静压止推轴承为例,分析了典型制造误差对轴承承载力及刚度等性能的影响,以误差分析结果为基础给出静止推板的设计精度。对于亚微米精度要求的静止推板,针对其装夹微变形问题,提出了变形误差补偿车削原理,即在机床上按吸附变形误差的反误差进行加工,使静止推板在去除真空吸附后的自由状态下能达到高的面形精度。对鄜188 mm的静止推板圆环面进行了补偿加工实验,面形误差快速收敛到1μm以下,达到了高精度的加工要求。
【作者单位】： 国防科学技术大学机电工程与自动化学院;超精密加工技术湖南省重点实验室;
【关键词】： 气体静压止推轴承 误差分析 吸附变形 补偿车削
【基金】：应用光学国家重点实验室开放基金项目(Y2Q03FQK06)资助
【分类号】：TH133.3
【正文快照】： 气体静压主轴是精密、超精密装备的关键部件[1],具有十分优良的性能。然而,气体静压主轴性能的优劣在很大程度上取决于核心零件的加工精度[2]。气体静压主轴要求径向轴承组装后总的制造误差应小于轴承半径间隙的1/10~1/5,止推轴承端面与径向轴承孔的垂直度误差小于3μm[1],这

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本文编号：913090