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面向压电泵脉动消除的流体滤波器设计与实验

发布时间:2017-10-07 13:44

  本文关键词:面向压电泵脉动消除的流体滤波器设计与实验


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【摘要】:设计了一种被动式流体滤波器,它由薄膜及微通道组成,旨在消除由压电泵引起的流体脉动。对流体滤波器进行了理论分析,利用Comsol软件建立滤波器的有限元模型,分别对薄膜变形以及微通道流阻进行数值计算,并分析了影响滤波效果的参数。仿真结果表明,当微通道内的流体阻力较大时,泵的驱动频率越高,薄膜半径越大,滤波效果更佳。通过实验验证,表明所设计的流体滤波器可以有效减小脉动,压电泵能够提供稳定的流量。
【作者单位】: 苏州大学机器人与微系统研究中心;苏州纳米科技协同创新中心;
【关键词】流体滤波器 流体脉动 微流量 压电泵
【基金】:国家高技术研究发展计划(“八六三”计划)资助项目(2011AA040404) 高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20133201110009) 新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-13-0923)
【分类号】:TH38
【正文快照】: 引言近年来,许多非机械泵被用来驱动微流动系统,其驱动原理是电流体驱动[1]、电磁制动[2]和电渗[3]等,这类泵需要将电场、磁场等直接作用在流体之上,因此它们只能输送特定组分的溶液,应用范围相对狭隘。压电泵具有结构简单、体积小、重量轻、驱动力大、低泄漏、响应时间短、耗

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