双层电阻栅SOI应变计的设计及其在煤矿的应用
发布时间：2017-12-18 06:01
本文关键词：双层电阻栅SOI应变计的设计及其在煤矿的应用
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【摘要】：设计了一种微熔结构的双层电阻栅SOI应变计,该应变计利用热生长氧化、光刻、刻蚀等工艺方法进行制作,解决了通常SOI应变计体电阻阻值小、易受污染的问题,提高了应变计的精度、绝缘性和工作稳定性。现场试验结果表明,利用该应变计制作的煤矿钻孔应力计测量数据准确,工作稳定可靠,适用于煤岩体应力监测。
【作者单位】： 天地科技股份有限公司开采设计事业部;复旦大学信息科学与工程学院;
【基金】：国家自然科学基金青年基金项目(51304115) 中国煤炭科工集团科技创新基金重点资助项目(2013ZD002) 天地科技技术创新基金项目(KJ-2015-TDKC-02);天地科技开采青年创新基金项目(KJ-2015-TDKC-12)
【分类号】：TD326
【正文快照】： 0引言0~60MPa量程的应变计有2种常见的结构形式,即溅射薄膜结构和微熔结构[1]。溅射薄膜结构应变计是在不锈钢平台表面上,采用溅射技术、PECVD技术及光刻等技术生长出绝缘膜,再淀积一层铂、铂铱、铂钨等合金薄膜,通过微细加工光刻技术将这层金属膜制成电阻敏感栅。微熔结构应
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本文编号：1303048
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