一种采用穴番-A敏感膜的新型声表面波瓦斯传感器的研究
本文关键词：一种采用穴番-A敏感膜的新型声表面波瓦斯传感器的研究
【摘要】：本文利用笼形超分子材料穴番-A对甲烷分子的特异性包合作用,提出了一种能够在室温下工作的采用穴番-A敏感膜的新型声表面波瓦斯传感器。设计研制了中心频率为300 MHz的低损耗、高Q值SAW谐振器,并以所研制的谐振器构成双通道差分振荡器。分别以点涂法和旋涂法在传感通道SAW谐振器表面进行了敏感膜的镀膜。通过实验观察对比了采用两种镀膜方式的SAW瓦斯传感器在常温下对5%甲烷气体的响应。实验结果显示点涂镀膜的传感器响应约为1 k Hz,远大于旋涂镀膜方式。AFM表面形貌表征显示了敏感膜表面粗糙度是造成这一差异的主要原因。实验还研究了传感器对不同浓度甲烷气体的响应,结果表明传感器响应随气体浓度降低而减小,两者存在良好的线性关系,测试灵敏度为205 Hz/%,检测下限约为0.2%。
【作者单位】： 中国科学院声学研究所;防化研究院第四研究所;山西大学;
【关键词】： 声表面波 瓦斯传感器 穴番-A 表面粗糙度
【基金】：国家自然科学基金项目(11274340)
【分类号】：TD712.55;TP212
【正文快照】： 井下煤矿瓦斯气体超标是威胁我国煤炭安全生产的重大隐患。每年因井下瓦斯气体泄漏爆炸引发的矿难事故时有发生,给国家和人民的生命财产带来了难以估量的损失。为杜绝此类事故的发生,急需对矿内瓦斯气体的浓度进行实时、快速、准确的检测。瓦斯气体的主要成分是甲烷,是一种无
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，本文编号：865916
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