620mm薄镜面的主动支撑结构及面形校正
本文选题:主动光学 + 薄镜面 ; 参考:《光学精密工程》2011年05期
【摘要】:为了提高大口径薄镜面望远镜主镜在不同俯仰角度的支撑面形精度,采用模态振型模式定标实时对主镜面形进行了主动校正。针对口径为620mm,厚度为18mm,底支撑采用36点主动支撑,侧支撑采用6点切向被动支撑的薄镜面主动支撑系统,分析了主镜自由振动时的模态振型;在进行主动校正前将其前10阶模态振型的RMS值归一化为1 000nm,定标出相应的校正力;分析了不同俯仰角下主镜面形的变化,并采用最小二乘法用模态振型为底基函数拟合了主镜面变形,求解出主动校正力;对比校正面形和原始面形的关系,在二次主动校正之后分析了拟合残差和校正残差的关系。最终校正结果显示,主镜竖直放置时,用最大2.23N的校正力可将其面形RMS从27.62nm校正到12.95nm;主镜水平放置时,用最大0.59N的校正力可将其面形RMS从7.68nm校正到2.84nm。得到的结果验证了采用模态振型校正主镜面形的可行性。
[Abstract]:In order to improve the accuracy of the supporting surface of the main mirror of the large aperture thin mirror telescope at different pitch angles, the active correction of the main mirror shape is carried out in real time by mode calibration. Aiming at the thin mirror active support system with a diameter of 620mm and a thickness of 18mm, with 36 points of active support for the bottom support and 6 points tangential passive support for the side support, the modal mode of the primary mirror under free vibration is analyzed. Before the active correction, the RMS values of the first 10 modes are normalized to 1000 nm, and the correction forces are calibrated, and the changes of the main mirror shape at different pitch angles are analyzed. By using the least square method, the deformation of the main mirror surface is fitted with the modal mode as the base function, and the active correction force is solved, and the relationship between the fitting residual and the corrected residual is analyzed after the second active correction by comparing the relationship between the front shape and the original surface shape. The final correction results show that when the primary mirror is placed vertically, its surface shape can be corrected from 27.62nm to 12.95 nm with the maximum correction force of 2.23 N, and the maximum correction force of 0.59 N can be used to correct the surface shape of the primary mirror from 7.68nm to 2.84 nm when the primary mirror is placed horizontally. The results show that it is feasible to use modal mode to correct the main mirror shape.
【作者单位】: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院研究生院;
【基金】:中科院长春光学精密机械与物理研究所三期创新工程专项基金资助项目
【分类号】:TH751
【参考文献】
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【共引文献】
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