标准CMOS工艺下高速集成大光敏面光电探测器芯片的研制

发布时间：2017-11-17 10:16

  本文关键词：标准CMOS工艺下高速集成大光敏面光电探测器芯片的研制

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【摘要】：为提高大纤芯(1 mm)塑料(POF)光纤通信用的单片集成光接收机(OEIC)的速率并降低成本,对Si基大光敏面光电探测器(PD)的结构、性能以及后续放大电路进行了研究。首先,基于标准CMOS工艺流程对N+/N-well/p-sub PD结构进行建模和优化设计,对其光谱响应曲线和频率特性曲线进行了仿真;其次,建立PD等效电路模型,结合设计的后续放大电路进行协同设计与仿真;最后,采用0.5μm CMOS工艺对单个面积为200μm×200μm的PD以及后续放大电路单片集成电路进行了流片、封装和测试。实验结果表明,在-2.5V偏压下和650nm波长入射光,N+/Nwell/p-sub PD的响应度约有0.12 A/W,暗电流约为-9pA;单片光接收机在小于10-9的误码率BER条件下,灵敏度为-23dBm,并得到250 Mbit/s速率的清晰眼图。
【作者单位】： 阜阳师范学院计算机与信息工程学院;厦门大学物理与机电工程学院;厦门大学能源研究院;
【基金】：国家自然科学基金(61205060);国家自然科学基金青年基金(61401101) 东南大学毫米波国家重点实验室开放基金(K201401) 安徽省自然科学基金(1408085QF122) 安徽高校省级自然科学研究(2014KJ022) 福建省科技计划重点(2013H0047) 阜阳师范学院博士科研启动基金(FSB201501002) 阜阳师范学院科技成果孵化基金(2013KJFH05)和资助项目
【分类号】：TN929.11;TN851
【正文快照】： receiver is-23dBm under the bit-error-rate(BER)of 10-9.And a clear eye-diagram with the speed of250Mbit/s is achieved.The designed monolithic integrated optical receiver can be applied to 250Mbit/s optical fiber communication systems very well.1引言随着

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前5条

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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【相似文献】

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本文编号：1195675