基于脉冲计数的零相位差跳变补偿外差干涉信号处理方法
本文关键词:基于脉冲计数的零相位差跳变补偿外差干涉信号处理方法
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【摘要】:在基于脉冲计数的外差干涉信号处理中,提出了一种零相位差跳变补偿的大小数相位结合处理方法,可实现外差干涉信号处理中大小数的准确结合。大数测量采用对两路干涉信号进行脉冲计数同步对减的方法实现,小数测量采用混频降频方法来提高测量分辨率,并采用锁相环对拍频信号跟踪产生用于混频降频的动态基准信号,解决外差信号拍频变化的问题,以提高小数测量分辨率的稳定性。基于信号发生器对实现的外差干涉信号处理方法进行了验证,包括测量精度、大数计数、小数相位测量。构建了双通外差干涉位移测量光路,通过对精密导轨位移的测量来验证大小数结合处理方法的有效性和信号处理方法在外差干涉位移测量应用中的可行性。
【作者单位】: 北京理工大学光电学院;浙江理工大学纳米测量技术实验室;
【基金】:国家自然科学基金(51327005) 教育部创新团队基金(IRT13097)
【分类号】:TN911.7
【正文快照】: heterodyne interferometry;resolutionOCIS Codes 120.3180;120.3940;120.5050;260.31601引言激光外差干涉测量技术具有长度基准溯源性、响应速度快、测量范围大、信噪比高、能够克服方向模糊且不易受光强变化的影响等优点,被广泛用于几何量的精密测量,精密仪器的检测与校准,
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 刘丹丹;赵维谦;岳华;;一种整小数结合式激光外差信号处理方法[J];传感器与微系统;2008年01期
2 邓元龙;李学金;耿优福;洪学明;;非偏振分光镜对外差干涉仪非线性误差的影响[J];光学学报;2012年11期
3 陈瑞强;江月松;;脉冲激光测距的时间间隔测量方法[J];光学学报;2013年02期
4 赵洋,李达成;一种新的外差干涉信号处理方法──相位及相位整数测量法[J];计量学报;1995年01期
5 陈强华;罗会甫;王素梅;王锋;陈新华;;基于表面等离子体共振和双频激光干涉相位测量的空气折射率测量[J];中国激光;2013年01期
6 邱小倩;乐燕芬;王静;;基于FPGA的插频式外差干涉信号处理方法[J];激光技术;2011年02期
7 池峰;朱煜;张志平;高为宫;;双频激光干涉测量中的环境补偿技术[J];中国激光;2014年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘丹丹;赵维谦;岳华;;一种整小数结合式激光外差信号处理方法[J];传感器与微系统;2008年01期
2 戴高良,殷纯永;用于纳米测量的混合型外差干涉信号处理方法[J];光学技术;1999年01期
3 戴高良,殷纯永,谢广平;纳米分辨率外差干涉信号处理电路相位畸变的实验研究[J];光学技术;1999年02期
4 吴栋,朱日宏,陈磊,何勇,姬会东;干涉仪环境振动的外差检测与自适应控制[J];光子学报;2004年12期
5 钟朝阳;句爱松;乐燕芬;侯文玫;;一种新型差分平面镜干涉仪[J];光学学报;2014年11期
6 胡淼;张飞;张翔;郑尧元;孙骁;徐亚希;许伟忠;葛剑虹;项震;;用于光生毫米波的双频激光放大特性[J];光学学报;2014年11期
7 羡一民;;激光干涉仪的信号处理系统——激光干涉仪技术综述之三[J];工具技术;2014年12期
8 王朋国;张自国;叶萍;;激光陀螺谐振腔横模特征的测量与分析[J];光子学报;2015年04期
9 陈强华;刘景海;罗会甫;何永熹;罗军;王锋;;一种基于表面等离子共振的液体折射率测量系统[J];光学学报;2015年05期
10 王佳,赵洋,张书练,李达成,曹芒;纳米计量学与纳米计量测试技术(二)[J];航空计测技术;1995年06期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 黎永前;纳米精度测量与校准系统关键技术研究[D];西北工业大学;2003年
2 齐永岳;大范围二维纳米检测系统的设计研究[D];天津大学;2004年
3 张晓;光学成像条码定位理论研究及应用[D];南京理工大学;2006年
4 王飞;音调感知的听觉外周激光干涉研究[D];华中科技大学;2013年
5 付敏;新型光场式时栅位移传感器原理与实验研究[D];重庆大学;2014年
6 杨涛;激光外差干涉大范围位移和角度同时测量系统的设计与实现[D];浙江理工大学;2015年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张恩政;基于双频干涉的直线度及其位置测量方法研究[D];浙江理工大学;2010年
2 王国超;双波长单光栅大量程纳米级位移测量方法的研究[D];国防科学技术大学;2010年
3 范志军;中频差双频激光干涉测量系统的初步研究[D];清华大学;2004年
4 高宏堂;2.5维大范围纳米激光干涉测长信号处理子系统的研究[D];中国计量科学研究院;2005年
5 张南;空间光外差测距系统中软件式鉴相方法的初步研究[D];华中科技大学;2009年
6 张华叶;激光外差干涉直线度及其位置测量系统的研制[D];浙江理工大学;2012年
7 刘磊;MEMS激光外差干涉仪相位差提取与面形拟合算法研究[D];哈尔滨工业大学;2012年
8 路宜明;基于PSoC的超声相控阵高精度测距系统的研究[D];山东师范大学;2014年
9 李庆贤;纳米位移台六自由度的激光干涉校准系统的研制[D];浙江理工大学;2014年
10 郝华伟;基于FPGA的光外差干涉信号处理方法研究[D];中北大学;2015年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张立文,裴继斌,陈,
本文编号:1227378
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