220GHz折叠波导UV-LIGA微加工工艺（英文）

发布时间：2017-12-16 12:37

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【摘要】：真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作用结构的尺度越小,加工误差的要求越严格。传统的加工方法很难实现如此微小尺寸的结构,UVLIGA技术对于制造这种微型结构是一种很有前途的方法。用UV-LIGA方法制备真空器件的慢波结构,涉及到两个主要的问题:一是SU8厚胶匀胶过程中如何确保其厚度及其一致性;二是横向贯穿折叠波导中心的电子注通道如何成型。以220GHz折叠波导为研究对象,针对上述两个问题开展了相关的工艺试验,使用特制的PDMS模具,采用重力匀胶法,实现了大厚度SU8胶匀胶,表面平整,高度一致。在SU8光刻胶中通过专用夹具,嵌入透明有机丝,形成细长电子注通道。而后,采用脉冲电铸电源,在硫酸铜电铸液中电铸,获得了表面平整的无氧铜微结构。
【作者单位】： 中国科学院电子学研究所;中国科学院高能物理研究所;北京大学应用电子学研究所;
【基金】：supported by National Defense Pre-Research Foundation of China(9140A230202)
【分类号】：TN814
【正文快照】： PACS:85.45.-w;84.40.FeTraveling wave tube(TWT)as an amplifier is an important technology for new types of communication,concealed metallic weapon detection,medical imaging,material science,space science and radar applications,etc.Lower frequency(lower th

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本文编号：1296070