硅基波导谐振腔特性分析与实验研究

发布时间：2017-12-26 19:34

  本文关键词：硅基波导谐振腔特性分析与实验研究　出处：《导航定位与授时》2015年02期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：给出了硅基二氧化硅波导谐振腔的整体设计结构和谐振腔的传递函数及考虑光源线宽情况下特征参数的数学表达式。仿真分析了耦合器分光比、波导传输损耗、谐振腔腔长、激光器谱宽对谐振腔特性的影响。研究了硅基二氧化硅波导的加工工艺并针对其关键因素——光刻工艺实验验证了其曝光时间与显影对波导芯片的影响。最后对比了实验测试结果与理论仿真谐振曲线,吻合度良好。
[Abstract]:The overall design structure and resonant cavity transfer function of silica based waveguide resonant cavity are given, and the mathematical expression of characteristic parameters considering the width of light source is given. The influence of the splitter ratio of the coupler, the loss of the waveguide transmission, the length of the resonator cavity and the spectrum width of the laser on the characteristics of the resonator is simulated and analyzed. The processing technology of silica based waveguide is studied, and its exposure time and the effect of developing on waveguide chip are verified according to its key factor -- lithography process experiment. Finally, the experimental results are compared with the theoretical simulation resonance curve, and the coincidence degree is good.
【作者单位】： 北京自动化控制设备研究所;
【分类号】：TN814
【正文快照】： o引言 谐振式硅基集成光学陀螺是一种新型的光学陀螺,凭借其体积小、重量轻、可批量化生产等优势成为目前研究的重点。在谐振式硅基集成光学陀螺中,其角速度敏感单元一波导谐振腔是构建整个陀螺系统的基础,其性能好坏直接影响着系统最终检测精度因此,谐振腔加工、结构设计及

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本文编号：1338576