一种新型RF-MEMS微天线的设计与实现

发布时间：2018-04-11 09:24

  本文选题：射频识别(RFID) + 微机电系统(MEMS)　； 参考：《磁性材料及器件》2014年06期

【摘要】：针对13.56MHz RFID系统大面积平面螺旋线圈天线存在的缺陷,提出了一种用于13.56MHz频段的新型RF-MEMS微天线,并使用HFSS软件进行了仿真和设计,同时采用MEMS工艺实现器件制作。该微天线由螺线管线圈及高性能铁氧体薄膜组成,总体尺寸小于10mm×6.7mm×0.46mm。该微天线灵敏度达到了36.2m V/μT,使用电感值为1.6μH的读卡器线圈与匹配谐振后的微天线进行耦合,在6mm处该微天线的谐振电压达到7.1V,同时将集成了标签芯片及谐振电容的微天线与符合ISO14443标准的读卡器进行通信,其通信距离达到12mm。
[Abstract]:Aiming at the defects of large area planar helical coil antenna in 13.56MHz RFID system, a novel RF-MEMS microantenna for 13.56MHz frequency band is proposed. The simulation and design are carried out with HFSS software, and the device is fabricated by MEMS process.The microantenna consists of solenoid coil and high performance ferrite film. The overall size of the microantenna is smaller than 10mm 脳 6.7mm 脳 0.46mm.The sensitivity of the microantenna is 36.2m V / 渭 T, and the card reader coil with 1.6 渭 H inductance is coupled with the matched resonant microantenna.The resonant voltage of the microantenna at the 6mm reaches 7.1 V. at the same time, the microantenna which integrates the tag chip and the resonant capacitor can communicate with the card reader in accordance with the ISO14443 standard, and the communication distance is up to 12mm.
【作者单位】： 清华大学微电子学研究所;
【分类号】：TN822;TP391.44

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本文编号：1735396