利用硅波导实现全混洗变换的新方法

发布时间：2018-04-21 08:49

  本文选题：集成光学 + 全混洗变换　； 参考：《光子学报》2014年S1期

【摘要】：全混洗变换在光互连中具有重要的作用.本文提出并实现了一种新的全混洗变换实现方法——硅波导实现全混洗变化.分析了全混洗变化的基本理论及其特点;利用软件OptiFDTD仿真并分析了4×4和8×8的PS变换结构;根据仿真结果,利用感应耦合等离子体刻蚀等工艺对SOI基片进行加工,制作了基于硅基的片上全混洗变换结构.结果显示,该结构的传输效率在80%以上,而且此结构的串扰在1%左右,该结构具有传输效率高,插入损耗和串扰较低等特点,并且在结构上具有体积小、结构简单、易于集成等优点,将在未来的光学集成及光学计算机中发挥重要作用.
[Abstract]:The full washout transformation plays an important role in optical interconnection. In this paper, a new method of full wash transformation is proposed and realized. Silicon waveguide is fully mixed. The basic theory and characteristics of full wash change are analyzed. The PS transformation structure of 4 x 4 and 8 x 8 is simulated and analyzed by software OptiFDTD. The SOI substrate is processed by the coupled plasma etching process, and the silicon based full mixing transformation structure is fabricated. The results show that the transmission efficiency of the structure is above 80%, and the crosstalk of the structure is about 1%. The structure has high transmission efficiency, low insertion loss and low crosstalk, and the structure has the volume on the structure. Small, simple structure, easy integration and other advantages, will play an important role in the future optical integration and optical computer.

【作者单位】： 西北核技术研究所;
【基金】：国家自然科学基金(Nos.60907003,61070040)资助
【分类号】：TN814

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1781730