一种基于FIB刻蚀的MEMS陀螺修调方法

发布时间：2018-04-27 10:55

  本文选题：MEMS陀螺 + FIB刻蚀　； 参考：《中国惯性技术学报》2014年05期

【摘要】：受微加工工艺条件限制,MEMS传感器的结构尺寸等参数总是偏离设计值,使其性能水平难以满足高精度应用的要求。为了抑制一种MEMS陀螺敏感结构的加工误差,分析了其主要运动模态的特性以及耦合误差的主要来源,提出了通过FIB刻蚀手段对陀螺十字型梁结构进行修调的方法,并对修调前后陀螺的耦合误差以及误差的温度稳定性进行了分析比较。对陀螺性能的测试结果表明,两种FIB刻蚀方式分别使陀螺零偏误差比修调前降低约35%和72%,而误差的温度稳定性则分别提高了80%和55%,证明修调方法能够抑制陀螺误差、提升陀螺的性能。
[Abstract]:The structure and size of MEMS sensors are always deviated from the design value, which makes the performance level difficult to meet the requirements of high precision applications. In order to restrain the machining error of a MEMS gyroscope sensitive structure, the characteristics of its main motional modes and the main source of coupling error are analyzed, and a method to modify the gyro cross beam structure by FIB etching is proposed. The coupling error and temperature stability of gyroscope before and after modification are analyzed and compared. The test results of gyroscope performance show that the zero bias error of gyroscope is reduced by 35% and 72%, respectively, and the temperature stability of the error is increased by 80% and 55%, respectively. It is proved that the correction method can suppress the gyro error. Improve the performance of gyroscope.
【作者单位】： 清华大学精密仪器系;中国兵器工业导航与控制技术研究所;
【基金】：总装备部惯性预研项目(51309010301)
【分类号】：TN966

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1810446