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对棒多晶硅还原炉高频加热系统研究

发布时间:2018-07-25 15:47
【摘要】:介绍了一种新型多晶硅还原炉加热电源的工作原理、系统构成和实验结果。该型加热电源采用相控整流和高频逆变技术。根据多晶硅硅棒在生长过程中的伏安特性,设计了与工频加热电源交互的控制逻辑以及逆变电流控制方法。通过实验验证了硅棒中交变电流的趋肤效应在多晶硅硅棒加热过程中的作用,并对比了工频加热电流与高频加热电流的幅值差异。实验表明,该型多晶硅还原炉高频加热电源在节电率、单炉生产时间和产出硅棒直径上,均比传统的工频加热电源有较大提升。
[Abstract]:This paper introduces the working principle, system structure and experimental results of a new type of heating power supply for polysilicon reducer. This type of heating power supply adopts phase-controlled rectifier and high-frequency inverter technology. According to the volt-ampere characteristics of the polysilicon silicon rod during the growth process, the control logic and the inverter current control method are designed for the interaction with the power frequency heating power supply. The effect of the skin effect of alternating current on the heating process of polycrystalline silicon rod is verified by experiments, and the amplitude difference between the power frequency heating current and the high frequency heating current is compared. The experimental results show that the high frequency heating power supply of this type of polycrystalline silicon reduction furnace is much higher than that of the traditional power frequency heating power supply in terms of power saving rate, production time of single furnace and the diameter of the produced silicon rod.
【作者单位】: 西安医学院;中国空间技术研究院西安分院;
【分类号】:TN86

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号:2144293

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