对棒多晶硅还原炉高频加热系统研究
[Abstract]:This paper introduces the working principle, system structure and experimental results of a new type of heating power supply for polysilicon reducer. This type of heating power supply adopts phase-controlled rectifier and high-frequency inverter technology. According to the volt-ampere characteristics of the polysilicon silicon rod during the growth process, the control logic and the inverter current control method are designed for the interaction with the power frequency heating power supply. The effect of the skin effect of alternating current on the heating process of polycrystalline silicon rod is verified by experiments, and the amplitude difference between the power frequency heating current and the high frequency heating current is compared. The experimental results show that the high frequency heating power supply of this type of polycrystalline silicon reduction furnace is much higher than that of the traditional power frequency heating power supply in terms of power saving rate, production time of single furnace and the diameter of the produced silicon rod.
【作者单位】: 西安医学院;中国空间技术研究院西安分院;
【分类号】:TN86
【参考文献】
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【共引文献】
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本文编号:2144293
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