TFT-LCD摩擦工艺ESD研究与改善

发布时间：2023-03-11 00:56

　　摩擦工艺ESD(Electrostatic Discharge)是TFT-LCD制程中较为常见的一种不良,以317.5mm(12.5 in)产品为例,摩擦工艺过程中ESD发生率20%,对产品良率影响较大。文章结合实际生产对摩擦工艺ESD的原因进行理论分析与实验验证,得出摩擦工艺发生ESD的原因为TFT基板上面有悬空的大块金属,在摩擦过程中电荷积累过多容易发生ESD,ESD进一步烧毁旁边金属电路导致面板点亮时画面异常。生产过程中通过工艺管控和产品设计两方面优化改善,工艺方面通过增加湿度,涂布防静电液以及管控摩擦布寿命进行改善,设计方面通过变更悬空的大块金属为小块金属,通过工艺设计优化最终生产过程中摩擦工艺ESD发生率由20%下降到0%,大大提高了产品品质,降低了生产成本。

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
1 引言
2 ESD现象与特点
    2.1 ESD器件烧毁现象
3 ESD原理
4 实验设计
    4.1 工艺影响
        4.1.1 摩擦设备湿度对ESD的影响
        4.1.2 设备机台涂布防静电液对ESD的影响
        4.1.3 摩擦布寿命对ESD影响
    4.2 设计影响
5 结果与讨论
    5.1 工艺方面
        5.1.1 摩擦设备湿度对ESD影响结果
        5.1.2 设备机台涂布防静电液对ESD的影响
        5.1.3 不同摩擦布寿命对ESD影响
    5.2 设计方面
        5.2.1 玻璃基板悬空的大块金属对ESD影响
6 结论



本文编号：3758886