MEMS射频同轴线的仿真与工艺研究

发布时间：2017-09-21 14:26

  本文关键词：MEMS射频同轴线的仿真与工艺研究

  更多相关文章： 同轴传输线 光刻 电镀 SU- RF MEMS

【摘要】：以SU-8方形柱作为支撑衬底,初步设计中心频率为38GHz空气填充的微型矩形同轴线,通过HFSS电磁仿真软件对设计的结构进行模拟仿真与优化,并结合实际加工工艺和测试条件,最终确定中心同轴的横截面为200μm×200μm,外壁内表面的横截面为500μm×500μm,对支撑衬底尺寸进行最优化模拟仿真,确定SU-8矩形支撑衬底宽度为200μm.采用SU-8紫外光刻工艺并结合铜的电镀工艺进行微型同轴线结构的加工.利用微波探针测试台对其传输性能进行测试,测试结果显示该微型同轴线在中心频率处回波损耗S11在-30dB以下,插入损耗S12参数为-0.3dB.该工艺方法加工的同轴传输线具有带宽大、介质损耗小、辐射损耗小和抗干扰强等优点,可用于高性能射频和微波电路.另外,它的制作工艺可与其他射频和微波器件及集成电路工艺兼容,便于与射频和微波电路集成.
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;
【关键词】： 同轴传输线 光刻 电镀 SU- RF MEMS
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61401405);国家自然科学基金资助项目(51475438) 山西省基础研究项目(2014011021-4) 新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
【分类号】：TN813
【正文快照】： 0引言随着射频(RF)、微波技术的迅速发展,国际上诸多知名科研机构和高校都将RF MEMS视为重点研究方向.RF MEMS技术中多采用的是平面电路技术,其中的射频、微波信号传输及器件互联多采用微带、共面波导、带状线等平面传输线[1],当集成度较高时,这些传输、互联技术就暴露出诸多

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 陈水发;3D MEMS全光交换系统[J];今日电子;2001年10期

2 孙再吉;;MEMS平板显示应用于手机[J];半导体信息;2008年02期

3 何海洋;王章波;;基于温控方案的一种MEMS惯性测量装置设计[J];计测技术;2014年03期

4 赵继德;魏德芳;;无线通信系统中的MEMS天线[J];激光杂志;2008年02期

5 孙再吉;;MEMS显示器应用于下一代便携产品[J];半导体信息;2008年05期

6 董光焰;刘中杰;;光学MEMS微镜技术及其在激光雷达中的应用[J];中国电子科学研究院学报;2011年01期

7 ;光波网络中的MEMS[J];光机电信息;2001年09期

8 ;杰尔系统公司──首家批量生产三维MEMS光交换机组件的半导体公司[J];电子产品可靠性与环境试验;2002年02期

9 丁松峰;沈骁;;三维MEMS的交换时延分析[J];科技风;2008年06期

10 刘辉;;供应商增多,MEMS麦克风前景看好[J];集成电路应用;2010年02期

中国重要会议论文全文数据库 前2条

1 于华男;张勇;马小艳;;制导弹药用MEMS惯性导航系统发展与关键技术综述[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年

2 蒋振新;丁桂甫;杨春生;张永华;;一种新型MEMS共面波导传输线的理论研究[A];2003'全国微波毫米波会议论文集[C];2003年

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 王鹏;基于MEMS矢量水听器阵列的声目标定向定位技术研究[D];中北大学;2013年

，

本文编号：895076