高温共烧氧化铝生瓷激光切割工艺研究
本文选题:激光切割 + 高温共烧陶瓷AlO生坯 ; 参考:《固体电子学研究与进展》2017年03期
【摘要】:激光切割工艺是高温共烧陶瓷生坯加工过程中重要技术之一,文中研究了这种激光切割氧化铝陶瓷工艺,其脉冲峰值功率及光斑聚焦大小决定了切割效果。结果表明控制激光频率、扫描速度及重复次数,可得到较好的切割槽深和切割槽宽。
[Abstract]:Laser cutting technology is one of the important technology of high temperature co fired ceramic processing process, in this paper the laser cutting of alumina ceramics, the pulse peak power and light spot size determines the cutting effect. The results show that the control of laser frequency, scanning speed and Re number, can be obtained by cutting groove depth and width of cutting groove is better.
【作者单位】: 南京电子器件研究所;
【分类号】:TN249;TQ174.6
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,本文编号:1739345
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