电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制

发布时间：2018-04-19 21:18

  本文选题：激光器 + 电磁辐射　； 参考：《激光技术》2017年04期

【摘要】：为了抑制电激励准分子激光系统产生的强电磁干扰,采用电磁辐射理论分析了准分子激光器电磁辐射机理,确定了激光器辐射干扰源主要来源于激光器的主放电回路、出光口和氢闸流管;采用近场探头分别对各关键部位不同距离电磁辐射进行了测试;结合测试结果与电磁屏蔽原理对激光器电磁辐射进行了屏蔽设计和屏蔽效能测试,针对准分子激光系统,提出了抑制电磁干扰的几种措施。结果表明,设计的屏蔽盒的屏蔽效能达到40d B;引入电磁干扰抑制措施后,准分子激光系统能稳定可靠工作。该研究满足了工程实际要求。
[Abstract]:In order to suppress the strong electromagnetic interference produced by the electrically excited excimer laser system, the electromagnetic radiation mechanism of the excimer laser is analyzed by using the electromagnetic radiation theory, and the main discharge loop of the laser is determined as the main source of the laser radiation interference. The light outlet and hydrogen thyratron are used to measure the electromagnetic radiation at different distances in each key position, and the shielding design and shielding efficiency of laser electromagnetic radiation are tested by combining the test results and the electromagnetic shielding principle. Aiming at excimer laser system, several measures to suppress electromagnetic interference are put forward. The results show that the shielding efficiency of the designed shield box is up to 40 dB and the excimer laser system can work stably and reliably with the introduction of electromagnetic interference suppression measures. The research meets the practical requirements of engineering.
【作者单位】： 中国科学院安徽光学精密机械研究所;中国科学技术大学研究生院科学岛分院;
【分类号】：TN24

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