97单元MEMS变形镜波前像差拟合能力分析

发布时间：2021-07-26 00:05

　　变形镜是自适应光学系统的关键元件,它对波前像差的拟合能力决定了自适应光学系统的校正性能。文中从变形镜对Zernike单阶像差、组合像差以及闭环校正三个方面分析97单元变形镜的拟合能力。仿真结果表明,当原始波前均方根的值为一个波长时,Zernike多项式前3～42阶残余波前像差的RMS小于0.4λ,说明变形镜对Zernike的前3～42阶像差具有较好的拟合能力。变形镜对Zernike多项式组合相差拟合以及基于随机并行梯度下降算法的闭环校正结果表明,当波前像差较小时,像差基本得到完全拟合及校正,当波前像差较大时,如D/r₀=20时,残余波前像差的RMS值均小于0.14λ（初始RMS为0.63λ）。分析结果对97单元变形镜的实际应用提供了理论依据和使用参考。 

【文章来源】：光学技术. 2020,46(01)北大核心CSCD

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
0 引言
1 97单元MEMS变形镜建模及影响函数测量
2 97单元MEMS变形镜校正能力分析
    2.1 变形镜对Zernike多项式单阶像差的拟合能力分析
    2.2 变形镜对Zernike多项式组合像差的拟合能力分析
    2.3 97单元MEMS变形镜在闭环系统中的校正能力分析
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]基于均方根误差和相关系数评价人眼像差对视网膜像质的影响[J]. 杨彦荣,戴云.  光学学报. 2017(03)
[2]基于变形镜本征模式的无波前传感器自适应光学系统实验研究[J]. 喻际,董冰.  光学学报. 2015(03)
[3]天文光电图像序列目标成像特征提取与分析[J]. 黄宗福,韩建涛,陈曾平.  光电工程. 2011(04)
[4]激光核聚变的发展(邀请论文)[J]. 林尊琪.  中国激光. 2010(09)
[5]自适应光学系统几种随机并行优化控制算法比较[J]. 杨慧珍,李新阳,姜文汉.  强激光与粒子束. 2008(01)
[6]昴宿星团望远镜迎来第一熹微光[J]. 江涛.  红外. 2000(06)

博士论文
[1]基于相位差算法的拼接镜共相误差探测与图像复原的研究[D]. 岳丹.中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2016
[2]视网膜微血管液晶自适应光学成像的研究[D]. 解洪升.中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2015
[3]双压电片变形反射镜研制与应用研究[D]. 周虹.中国科学院研究生院（光电技术研究所） 2013

硕士论文
[1]变形镜与液晶空间光调制器用于波前校正的对比研究[D]. 韩柯娜.西安理工大学 2019
[2]新型薄膜反射镜成型机理与实验研究[D]. 王永权.哈尔滨工业大学 2017
[3]自由空间光通信若干关键技术研究[D]. 许通.北京邮电大学 2015
[4]随机并行梯度下降波前控制算法研究[D]. 彭浩.国防科学技术大学 2008



本文编号：3303039