Box-Behnken试验设计法分析激光诱导金刚石石墨化后材料去除深度研究

发布时间：2024-01-25 11:00

　　金刚石的加工制备一直以来被学术界和工业界高度关注。针对金刚石的高效去除方法——激光加工,研究激光参数对金刚石去除量的影响,并采用Box-Behnken试验设计法建立金刚石去除深度与各激光参数之间的拟合关系式,实现金刚石激光加工的可控去除及预测。

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图1激光加工平台

图2整个加工面上激光脉冲分布情况

图3脉冲光斑重叠

图4激光扫描后的能量密度

本文编号：3884698