工艺路线对TFT工厂能源消耗的影响

发布时间：2017-10-15 12:02

  本文关键词：工艺路线对TFT工厂能源消耗的影响

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【摘要】：为了在TFT工厂的设计、建设及运营阶段采取有针对性的节能降耗措施,有效降低器件制备过程中的能耗,本文根据我院多年从事TFT生产线节能评估工作的经验数据,针对不同技术路线,选取具有代表性的TFT-LCD及AMOLED生产线,并对其能耗进行对比分析,以讨论不同技术路线对TFT-LCD及AMOLED显示器件生产能耗的影响。分析结果表明:阵列制备是最主要用能工序,其制备复杂程度可采用光罩次数(Mask)表征。随着光罩次数的增加,器件制造对电力、氮气、新鲜水等能源及耗能工质的需求呈急剧增长:采用10-13Mask技术的LTPS及AMOLED显示器件,其综合能耗达到a-Si及Oxide技术路线的约350%之多;在不同技术路线下,电力均为最主要的用能需求,其消耗量占总能耗的80%~87%。能耗的增加导致用能成本的大幅上升。在国家大力提倡绿色经济的环境下,建议各大厂商采取科学有效的能耗管控措施,以降低能源消耗及用能成本,实现产业的健康可持续发展。
【作者单位】： 中国电子工程设计院工艺所;
【关键词】： TFT LTPS IGZO AMOLED 综合能耗 单位产品能耗
【分类号】：TN873
【正文快照】： 1 引言 平板显示被誉为信息社会的“窗口”,是信息社会发展的重要支撑。在诸多平板显示技术中,TFT显示器件由于其轻薄、亮丽、响应速度快等优越特性,成为当今社会应用最为广泛的平板显示技术。在国家政策的大力支持下,我国TFT产业取得了长足进展。在产能扩充的同时,我国TFT产

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本文编号：1036993