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基于V形纳米天线的平面透镜设计与制备

发布时间:2018-01-18 06:19

  本文关键词:基于V形纳米天线的平面透镜设计与制备 出处:《光学学报》2017年07期  论文类型:期刊论文


  更多相关文章: 表面光学 表面等离子体 V形纳米天线 光束调控 电子束


【摘要】:传统透镜由于其体积大、性能差等因素的制约,使其在微纳光学系统中的应用遇到挑战。金属纳米结构能够耦合自由光波产生表面等离子体激元,通过控制表面等离子体激元来实现对入射光波的调控。V形等离子体纳米天线凭借其双共振效应以及0~2π的全相位调谐范围,使其在可以实现光束调控的金属纳米结构中脱颖而出。首先基于V形纳米天线设计了可以在34μm处高效聚焦的超透镜;接着利用聚焦电子束和光刻工艺制备样品;最后对样品进行表征分析与光学检测。这些工作将促进V形纳米天线在激光直写、光学集成方面的应用。
[Abstract]:Because of its large size and poor performance, the traditional lens faces a challenge in its application in micro and nano optical systems. Metal nanostructures can couple free light waves to generate surface plasma excitators. By controlling the surface plasmon excitation, we can control the incident light wave. V shape plasma nanowire has its double resonance effect and the all phase tuning range of 0 ~ 2 蟺. It makes it stand out from the metal nanostructures which can be controlled by light beam. Firstly, based on the V-shaped nano-antenna, a super-lens with high efficiency focusing at 34 渭 m is designed. Then the samples are prepared by focusing electron beam and lithography. Finally, characterization and optical detection of the samples are carried out, which will promote the application of V-shaped nanoantennas in laser direct writing and optical integration.
【作者单位】: 电子科技大学物理电子学院;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室;
【基金】:国家973计划(2013CBA01700) 国家自然科学基金(61138002,11275045)
【分类号】:TH74;TN826
【正文快照】: 传统透镜是通过在弯曲表面产生连续的光折射来实现光束整形的。伴随着集成光学的快速发展,传统透镜由于其体积、性能等各方面因素的制约,在微纳光学系统中的应用遇到了前所未有的挑战。金属纳米结构能够耦合自由光波产生表面等离子体激元,通过对表面等离子体激元的控制来实现

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