叠层方式形成彩色滤光片隔垫物的研究

发布时间：2018-02-02 01:51

本文关键词： 彩色滤光片叠层隔垫物形貌追随型平坦化材料　出处：《液晶与显示》2017年12期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：本文研究了液晶显示面板彩色滤光片工艺中以叠层方式形成隔垫物的关键技术问题,即叠层隔垫物高度控制、主-附隔垫物段差的形成和主-附隔垫物段差受后续平坦层工艺的影响变化等,并提出了解决方案。在黑矩阵、红色、绿色、蓝色滤光层形成一定的叠层高度后,采用形貌追随型平坦化材料对像素区平坦,通过控制像素开口部分OC的厚度,可以实现叠层隔垫物高度的控制。采用改变叠层图案设计的方法形成主-副隔垫物高度差(Main-sub段差),段差达成范围是0.4~1.2μm,达到了灰阶曝光方式可以达到段差的水平,但成本却大幅降低。并且验证了采用形貌追随型OC材料覆盖可以较好的保持OC工艺前形成的Main-sub段差。基于以上技术制备了4 Mask彩色滤光片原型机。
[Abstract]:In this paper , the key technology of forming spacer is studied in the color filter process of liquid crystal display panel .

【作者单位】：京东方科技集团股份有限公司技术研发中心;
【基金】：京东方科技集团股份有限公司研发项目基金(No.2013013)~~
【分类号】：TN873.93
【正文快照】： 现有的薄膜晶体管液晶显示面板(TFT-LCD)[1-2]是由包含有薄膜晶体管的阵列基板与包含有黑矩阵以及彩色滤色层的滤光片基板对准粘结而得到。其中阵列基板作为像素开关控制液晶偏转,彩色滤光片负责提供颜色。彩色滤光片通常包括以下几层:氧化铟锡、黑矩阵、红绿蓝绿色层、平坦层

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