同质集成光源、光波导和光电探测器的可见光双工通信芯片

发布时间：2018-04-06 21:41

  本文选题：同质集成　切入点：InGaN/GaN多量子阱二极管　出处：《南京邮电大学学报(自然科学版)》2017年03期

【摘要】：文中设计、制备并表征了同质集成的可见光双工通信芯片。采用硅衬底剥离和悬空氮化物薄膜背后减薄技术,在硅衬底GaN晶圆上制备了同质集成悬空p-n结InGaN/GaN多量子阱二极管(Multiple-Quantum-Well Diode,MQW-diode)和悬空波导的光子芯片。利用悬空p-n结InGaN/GaN MQW-diode可以同时发光和光探测的物理特性,将两个InGaN/GaN MQW-diode同时作为收发端,发出的调制光耦合进悬空光波导进行传输,并最后被另一个收发端接收,叠加信号可以通过自干扰消除法进行提取处理,实现芯片内可见光双工通信。这种同质集成光源、光波导和光电探测器的可见光通信芯片为发展高速同频同时全双工可见光通信芯片奠定了器件基础。
[Abstract]:A homogeneous integrated visible light duplex communication chip is designed, fabricated and characterized in this paper.Photonic chips of homomorphic integrated suspended p-n junction InGaN/GaN multiple quantum well diodes (MQW-diodes) and suspended waveguides have been fabricated on silicon substrate GaN wafer by silicon substrate stripping and thinning techniques.Based on the physical characteristics of the suspended p-n junction InGaN/GaN MQW-diode which can simultaneously emit light and detect light, two InGaN/GaN MQW-diode are used as the transceiver at the same time, and the modulated light is coupled to the suspended optical waveguide for transmission. Finally, the modulation light is received by another transceiver.The superposition signal can be extracted and processed by the self-interference elimination method to realize the visible light duplex communication in the chip.This kind of homogeneous integrated light source, optical waveguide and photodetector visible-light communication chip has laid the device foundation for the development of high-speed co-frequency and full-duplex visible light communication chip.
【作者单位】： 南京邮电大学Peter
【基金】：国家自然科学基金国际(地区)合作与交流(61531166004)资助项目
【分类号】：TN929.1

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本文编号：1719060