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基于均匀设计的MEMS陀螺温度标定试验设计

发布时间:2017-06-27 13:11

  本文关键词:基于均匀设计的MEMS陀螺温度标定试验设计,由笔耕文化传播整理发布。


【摘要】:针对传统的温度试验方案存在试验量大、耗费时间长的问题,提出基于均匀设计法的三轴微电子机械系统(micro-electromechanical systems,MEMS)陀螺温度标定误差补偿试验方案。设计基于均匀设计的四因素(测试温度点、温变速率、MEMS陀螺转速及转动方向)试验方案。首先,构造试验所需的均匀设计表;其次,根据LP-偏差确定MEMS陀螺温度标定误差补偿实验的最佳试验方案;最后,搭建出MEMS陀螺温度标定的实验装置进行测试。试验结果表明:与将每一个因素的不同水平组合的全面设计方案相比,该试验方案不仅节省12.5%的试验时间,还进一步减少MEMS陀螺温度标定误差试验量,缩短研究周期,节约试验成本。
【作者单位】: 北京航空航天大学惯性技术重点试验室;
【关键词】MEMS陀螺 均匀设计法 温度 标定误差补偿
【分类号】:TN96
【正文快照】: 0引言由于MEMS陀螺主要是用对温度敏感的热敏硅材料制成的硅微机械陀螺仪[1],MEMS陀螺精度及稳定度受温度影响较大。为减小温度对MEMS陀螺精度的影响,通常对MEMS陀螺进行温度标定误差补偿。Jacques[2],Gu[3],Rade等[4]提出了关于温度补偿模型的原理,Gaiffe[5]采用惯性器件温度

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本文编号:489921

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