TFT-LCD高温光照漏电流改善研究

发布时间：2017-10-07 15:22

  本文关键词：TFT-LCD高温光照漏电流改善研究

  更多相关文章： 高温光照漏电流 TFT沟道 TFT特性 沟道厚度

【摘要】：造成TFT不稳定的问题点一般认为有两种:一是沟道内半导体材料内部的缺陷,另一个是栅极绝缘层内的或是绝缘层与沟道层界面的电荷陷阱。TFT-LCD在长期运行时由于高温及光照的影响会导致漏电流增加,进而对TFT造成破坏。分析研究表明,TFT沟道在刻蚀完成后,沟道内部存在一定的缺陷以及绝缘层与沟道层界面存在电荷陷阱,平面电场宽视角核心技术-高级超维场转换技术型产品由于设计的原因面临着如果进行氢处理会导致与其与氧化铟锡中的铟发生置换反应,导致铟的析出,所以无法采用氢处理。理论分析表明Si-O键稳定,本文主要介绍通过氯气/氧气和六氟化硫/氧气对TFT沟道进行处理改善高温光照漏电流。结果表明,通过氯气/氧气和六氟化硫/氧气处理TFT沟道后,高温光照漏电流从18.19pA下降到5.1pA,可见氯气/氧气和六氟化硫/氧气对沟道处理可有效改善高温光照漏电流。
【作者单位】： 北京京东方光电科技有限公司;
【关键词】： 高温光照漏电流 TFT沟道 TFT特性 沟道厚度
【基金】：京东方研发基金~~
【分类号】：TN873.93
【正文快照】： 1引言随着当今薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)及其加工工艺的不断发展,TFT器件在各个领域得到了更加广泛的应用,部分领域TFT器件的工作环境条件比较恶劣,比如在高温的环境下,进而对TFT-LCD的性能要求更加严格,以A-Si为基础,采用不同的几何结构和不同的工艺[1],已经研制出了种

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前7条

1 张文英;;含六氟化硫的电气设备中气体的监测及SF_6的回收[J];科技创新导报;2011年31期

2 李光明;;激光光声光谱检测技术在六氟化硫检漏工作中的应用[J];科技传播;2011年04期

3 颜盛银;单鸣雷;朱昌平;韩庆邦;;基于声波衰减的六氟化硫浓度无线传感器[J];压电与声光;2013年05期

4 杨惠;潘峥嵘;;基于ZigBee的六氟化硫微水含量在线监测装置的研究[J];自动化与仪器仪表;2013年02期

5 张辉;张淑仪;列剑平;刘桂梅;陈力;水修基;张仲宁;;增强型六氟化硫激光检漏成像仪的研制与应用[J];无损检测;2009年12期

6 李旭;邓亚;;六氟化硫漏气量检测基本方法[J];科技传播;2012年06期

7 ;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 刘新刚;宋潇潇;张仁熙;侯惠奇;;烯丙基自由基参与反应的六氟化硫光降解途径研究[A];上海市化学化工学会2009年度学术年会论文集[C];2009年

2 王佰成;曹生顺;;六氟化硫罐式无间隙金属氧化物避雷器的研究[A];电工陶瓷第七次学术年会暨学术交流会论文集[C];2001年

3 洪文生;齐斌;;运行电气设备六氟化硫故障诊断与气体回收处理[A];第七届电力工业节能减排学术研讨会论文集[C];2012年

4 张微;;准确查找六氟化硫设备漏点的探讨[A];2010年云南电力技术论坛论文集（文摘部分）[C];2010年

5 夏桓桓;李仕林;郭新良;孔旭晖;;六氟化硫分解产物检测及设备故障判断浅析[A];2010年云南电力技术论坛论文集（优秀论文部分）[C];2010年

6 袁平;何速;陈志军;吴波;;便携式六氟化硫气相色谱仪的研制及应用[A];湖北省电机工程学会电厂化学专委会2007年学术年会论文集[C];2007年

7 刘唯;;220kV GIS六氟化硫环境监测探测单元抗干扰分析及处理对策[A];中国水力发电工程学会信息化专委会2010年学术交流会论文集[C];2010年

8 朱大雄;;六氟化硫高压接触器在排水系统中的应用[A];中国土木工程学会给水排水学会机电委员会第六次技术交流会论文集[C];1991年

9 王建西;杨夙峰;尹茂华;陈国平;;LW23-363型六氟化硫罐式断路器[A];西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年

10 刘唯;;220kV GIS六氟化硫环境监测探测单元抗干扰分析及处理对策[A];四川、贵州、云南三省水电厂（站）机电设备运行技术研讨会论文集[C];2010年

中国重要报纸全文数据库 前10条

1 孟晖;电气发展拉动六氟化硫需求[N];中国化工报;2006年

2 本版编辑邋刘文硕 西安热工研究院有限公司 孟玉婵 安徽省电力科学研究院 范明豪 河北省电力研究院 孙心利;六氟化硫回收利用：社会效益与经济效益并存[N];国家电网报;2008年

3 ;六氟化硫清洁发展机制项目成果国际领先[N];中国电力报;2009年

4 记者 王震　通讯员 靳丹;甘肃电网推广六氟化硫回收净化处理系统[N];国家电网报;2012年

5 何晓玲邋王晓平;回收再利用 环保又经济[N];国家电网报;2008年

6 刘英卫邋仲世强 祁炯 苏滇西 范明豪;回收六氟化硫 实现循环利用[N];国家电网报;2008年

7 记者 杨晓东　通讯员 汪斌;宁夏公司循环利用六氟化硫显成效[N];国家电网报;2011年

8 特约记者 王飞;大步迈进国际市场[N];中国化工报;2007年

9 郭蕾 靳要军;警惕六氟化硫电气设备隐患[N];中国电力报;2004年

10 本报记者 瞿剑;擒住人所不知的“污染”[N];科技日报;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前4条

1 罗飞;六氟化硫开关微水含量在线监测系统研究[D];重庆大学;2004年

2 厉亚军;不锈钢渣降解强温室气体六氟化硫（SF_6）的研究[D];上海大学;2012年

3 万凌云;六氟化硫气体放电组分实验装置及试验方法研究[D];重庆大学;2008年

4 付东旭;基于激光成像的六氟化硫泄漏检测系统—扫描及激光器控制部分的研究[D];上海交通大学;2008年

，

本文编号：988600