基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作（英文）

发布时间：2017-10-10 23:14

  本文关键词：基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作（英文）

  更多相关文章： 探针 坐标测量机 折射率补偿 微机电系统

【摘要】：集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形成。这种新技术利用甘油补偿NOA73与空气折射率差,使得紫外光透过NOA73微球后保持接近平行。最终得到高深宽比的探针结构,高度超过1 200μm,微柱侧壁与基底呈89°。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
【关键词】： 探针 坐标测量机 折射率补偿 微机电系统
【基金】：surpported by National Science Foundation of China(61401405,51475438) Basic Research Priorities Program of Shanxi(2014011021-4) Program for New Century Excellent Talents in University(130951862)
【分类号】：TH721
【正文快照】： PACS:07.10.Cm;13.66.JnWith increasingly miniaturizing and integrating development of precision machinery,bio-engineering,chemical industry,photovoltaic systems and some other fields,a huge number of novel micro-nano structuresare emerging.The manufacturi

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 杨怡;李泽甫;方瑜;罗炫;张林;;PDMS微/毫流控芯片的简易快速制备及其疏水性研究[J];纳米技术与精密工程;2014年01期

2 尚茂林;吴景梅;郭春燕;;聚乳酸载药微球的制备及修饰研究进展[J];中国药师;2013年08期

3 杨睿戆;徐嘉靖;高聪;马霜;陈素芬;罗炫;方瑜;李波;;聚α-甲基苯乙烯薄膜多孔结构影响因素研究[J];原子能科学技术;2015年01期

中国硕士学位论文全文数据库 前2条

1 任玉敏;微流控芯片技术在电泳及微球制备中的研究和应用[D];青岛大学;2013年

2 李泽甫;微流控法制备大直径DVB泡沫微球[D];西南科技大学;2014年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 韩喻;谢凯;;三维光子晶体及其制备技术研究进展[J];材料导报;2007年05期

2 赵丽,余家国,程蓓,赵修建;三维光子晶体的化学方法制备与应用[J];稀有金属材料与工程;2004年04期

3 骆锋,阮建明,万千;微乳液法制备纳米二氧化硅粉末工艺的研究[J];硅酸盐通报;2004年05期

4 李s，

本文编号：1009147