基于ITO图形短路检测仪的精密运动平台的设计与分析

发布时间：2017-10-11 03:27

  本文关键词：基于ITO图形短路检测仪的精密运动平台的设计与分析

  更多相关文章： 滚珠丝杠 滚动导轨 精密运动平台 ITO图形短路检测仪

【摘要】：随着现代制造技术的飞速发展,对精密运动平台的精度性能要求越来越高.通过对机架结构和驱动方式的对比分析,以及对滚动导轨和滚珠丝杠的选型分析,设计出了可供使用的ITO图形短路检测仪精密运动平台.重点分析了滚动导轨的位移分辨率,提出了提高工作台位移分辨率的主要措施.对比了工作台配磨前后的精度,并将其运用到实际的生产设备中,得出了精度的实验数据,证明了该运动平台的精度符合设计要求,验证了该平台的可实用性,对以后进行大尺寸、高精度运动平台的研究奠定了基础.
【作者单位】： 中北大学机械与动力工程学院;山西省深孔加工工程技术研究中心;北京清大天达光电科技有限公司;
【关键词】： 滚珠丝杠 滚动导轨 精密运动平台 ITO图形短路检测仪
【分类号】：TH703
【正文快照】： 3.北京清大天达光电科技有限公司,北京101204)0引言在精密机械仪器设备中,精密运动平台系统是高精密零部件和高性能元器件的组合体,影响着仪器设备整体的精度和效率[1].理想的精密工作台应满足以下的要求:1支承高刚性运动副应少机械摩擦或无摩擦、无间隙,具有较高的驱动分辨力

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前6条

1 杨国哲;王立平;郁鼎文;刘向阳;;三坐标精密运动平台的设计[J];机床与液压;2006年06期

2 黄欢;郁鼎文;刘向阳;;超精密运动平台隔振系统性能分析与实验研究[J];科学技术与工程;2006年01期

3 蔡庄奇;王云懋;贝天宝;吴小兰;;直线电机直接驱动技术在精密加工中的应用[J];机械工程与自动化;2008年06期

4 林海波;杨国哲;;超精密运动平台主动隔振系统动力学模型理论与实验研究[J];组合机床与自动化加工技术;2012年02期

5 徐登峰;赵冶;;超精密运动平台高动态性能运动部件的研究[J];制造技术与机床;2009年07期

6 张勇;精密测量导轨的运动特性分析[J];组合机床与自动化加工技术;2005年09期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 葛晓宇;肖勇;孙静娜;潘佩琦;;ACS控制器在超精密定位系统中的应用[J];信息系统工程;2011年11期

2 王雷;张聪;;基于小波分析的纳米运动平台振动研究[J];浙江国际海运职业技术学院学报;2010年01期

3 廖剑;钱炜;胡蒲希;;面向直线电机驱动数控铣削加工智能控制系统[J];微计算机信息;2012年08期

中国重要会议论文全文数据库 前2条

1 王亚涛;包淼;范明星;;光学设备隔振平台的隔振性能研究[A];现代振动与噪声技术（第九卷）[C];2011年

2 韩e，

本文编号：1010248