基于空间频域算法的三维微观形貌的测量

发布时间：2017-10-11 05:27

  本文关键词：基于空间频域算法的三维微观形貌的测量

  更多相关文章： 白光干涉 空间频域算法 三维形貌 干涉显微镜

【摘要】：白光干涉术测量表面形貌,解决了单色光干涉测量中的相位不确定困扰。基于扫描白光干涉术的空间频域算法,具有受噪声影响小、计算精度高的优点。运用这一算法通过Mirau扫描干涉显微镜对台阶状样品表面进行了两次白光扫描测试,得出了台阶表面形貌结果,且两次测量的台阶高度相差不超过1 nm。同时,利用Zygo Newview 7200白光形貌仪对同一样品表面进行了测试对比,结果表明:两者得到的样品表面形貌一致,台阶高度相差0.9 nm。此外,实验数据处理的结果还表明:运用空间频域算法进行分析时二阶以上的色散完全可以忽略。
【作者单位】： 南京理工大学物理系;
【关键词】： 白光干涉 空间频域算法 三维形貌 干涉显微镜
【基金】：2012年江苏省“百千万计划”资助项目
【分类号】：TH741
【正文快照】： 0引言机械制造、电子工业、二元光学、机器人视觉等领域的快速发展,对三维形貌的测试技术提出了越来越高的要求。因此对表面微观形貌测试技术展开研究,有着十分重要的意义和广阔的应用前景。目前对三维形貌的测量[1]可分为两大类:接触式和非接触式。前者主要包括触针式测量法[

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 于瀛洁,孙流星;基于波长移相干涉的台阶测量技术[J];测试技术学报;2005年02期

2 周攀,于瀛洁;基于白光扫描轮廓仪的算法研究[J];仪器仪表学报;2002年S2期

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 王星星;基于扫描白光干涉法的二元光学器件表面误差分析[D];南昌航空大学;2011年

，

本文编号：1010757