MEMS数字倾角仪的标定补偿方法研究

发布时间：2017-10-11 15:24

  本文关键词：MEMS数字倾角仪的标定补偿方法研究

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【摘要】：在介绍MEMS数字倾角仪组成结构的基础上,根据数字倾角仪内部MEMS加速度计的输出特性,对MEMS加速度计的敏感单元建立数学标定模型,提出并推导了一种适用于MEMS数字倾角仪的标定方法;该方法可以得到双轴MEMS数字倾角仪中加速度计的零位电压、标度因数矩阵、安装误差系数等敏感项参数;通过重力场静态翻转实验对实验室研制的数字倾角仪进行标定;最后使用MATLAB拟合计算得到所求标定参数,并对测试结果进行了误差分析和补偿对比;实验结果表明,该方法能使MEMS数字倾角仪的测量精度提高到±0.05°,可以满足高精度的角度测量需求。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
【关键词】： 倾角仪 MEMS加速度计 系统标定 误差补偿
【基金】：国家自然科学基金项目(51575500)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： MEMS数字倾角仪内部的核心敏感单元主要为MEMS加速度计。当加计敏感轴与水平面存在一定角度时,利用其输出加速度值与重力加速度分量的数学关系,实现对底面与水平面之间夹角的测量。数字倾角仪具有体积小、精度高、能耗低等优点,其在建筑、机械加工、路面状况监测等工程领域中

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本文编号：1013286