X-Y精密定位平台的敏感函数逆前馈补偿控制

发布时间：2017-10-12 01:09

  本文关键词：X-Y精密定位平台的敏感函数逆前馈补偿控制

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【摘要】：针对音圈电机驱动的X-Y定位平台中稳态误差导致的系统定位精度较低的问题,提出了基于敏感函数逆的前馈补偿控制方法。首先,采用频域辨识方法建立了系统模型,基于终值定理推导出系统扰动和稳态误差的关系,并由此设计了敏感函数的逆模型来补偿扰动对稳态误差的影响,从而提高系统精密定位性能。最后,在搭建的音圈电机驱动X-Y定位平台上进行了不同运动行程的实验研究。实验结果表明:在行程为10μm,最大加速度为6mm/s2的微定位运动条件下,补偿后的定位误差可由2μm降低到0.2μm;在行程为10mm,最大加速度为6m/s2的宏定位运动条件下,定位误差可由2μm降低到0.4μm。实验结果验证了本方法的有效性,为后续高精密伺服系统的研制提供了重要参考和设计依据。
【作者单位】： 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院;
【关键词】： 音圈电机 精密定位平台 敏感函数 前馈补偿
【基金】：国家自然科学基金资助项目(No.61005066) 国家科技重大专项资助项目(No.2013ZX04008021)
【分类号】：TH703;TP273
【正文快照】： 1引言随着自动控制技术和微型计算机的迅速发展,对各类自动控制系统的定位精度提出了越来越高的要求[1]。特别是在精密加工、精密测量、微电子工程等领域,除了要求定位平台具备高定位精度和较大运动行程外,还要求其具有更高的快速响应能力[2]。为提高运动平台的定位性能,有学

【参考文献】

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本文编号：1015807