环形共光路点衍射干涉仪

发布时间：2017-10-12 09:18

  本文关键词：环形共光路点衍射干涉仪

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【摘要】：建立了一种基于偏振掩膜板与环形共路结构的点衍射干涉仪,通过旋转偏振片可以改变参考光与测试光之间的相对光强,实现干涉条纹对比度的调节,能够获得最高对比度的干涉条纹,并且针对条纹对比度进行了详细的理论分析;由于系统中线性载频幅度极易调节,可以有效地改善傅里叶变换法的相位提取精度;验证性实验被完成。
【作者单位】： 内蒙古工业大学机械学院;中国科学院光电技术研究所;
【关键词】： 点衍射干涉仪 光学测量 环形共路结构 条纹对比度 傅里叶变换法
【基金】：国家自然科学基金(61108038) 内蒙古自然科学基金(2011BW0701) 教育部“春晖计划”科研项目(Z2011069) 内蒙古工业大学科研基金项目(X201010)资助
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 0引言不同于泰曼格林干涉仪或斐索干涉仪等常用干涉仪,点衍射干涉仪(PDI)可直接利用针孔产生衍射光波作为标准参考波,突破了常用干涉仪中测量精度受实体标准镜面精度的限制,从而达到更高的面形检测精度[1]。采用共光路的PDI结构,即参考光与测试光经过同一光路,对环境的振动以

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9 ;长度与角度计量[J];光电工程;1979年02期

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本文编号：1017894