空气阻尼对扭臂式静电驱动结构pull-in电压的影响

发布时间：2017-10-12 23:38

  本文关键词：空气阻尼对扭臂式静电驱动结构pull-in电压的影响

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【摘要】：基于扭臂式静电驱动结构的基本模型,在忽略和考虑空气阻尼作用的两种情况下,分别采用能量法和力电耦合分析方法得到扭臂式静电驱动器的pull-in电压。通过对比两种情况下的pull-in电压,得出了驱动结构参数变化时空气阻尼作用对pull-in电压的影响。结果表明,在一定范围内,随着上电极长度、上电极宽度的增加以及上下电极之间间距的减小,空气阻尼作用对pull-in电压的影响逐步增大;并且当上电极宽度增大或者上下电极之间间距减小到一定程度时,空气阻尼作用力甚至可以与驱动的静电力达到同一数量级,此时必须考虑空气阻尼作用的影响。
【作者单位】： 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室;
【关键词】： 扭臂式静电驱动 能量法 力电耦合方法 pull-in电压 空气阻尼
【基金】：上海市科委自然基金项目(13ZR1420800)
【分类号】：TH703
【正文快照】： 0引言随着MEMS技术的逐步成熟,各种静电驱动器得到了迅速的发展[1-3]。由于能在微器件中获得高能量密度和较大的作用力,并易于加工和集成,静电驱动执行器被广泛应用,如微光开关、压控电容和射频微开关等。pull-in现象广泛存在于静电驱动微执行器中,已经引起了广泛的重视和研究，

本文编号：1021615