气囊抛光路径对光学元件中频误差的影响

发布时间：2017-10-13 00:39

  本文关键词：气囊抛光路径对光学元件中频误差的影响

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【摘要】：为了寻找消除中频误差的有效抛光路径,进行了2组实验.第1组实验采用单步进动Z字光栅路径和单步进动螺旋线路径对石英玻璃进行全面均匀的气囊抛光实验,并对加工后得到试件表面的中频误差进行分析.第2组实验先采用单步进动Z字光栅路径对石英玻璃进行全面均匀的气囊抛光实验,接着用基于改进普里姆(Prim)算法的路径对其进行加工,最后对加工得到光学试件表面的中频误差进行分析,从而验证基于改进Prim算法的抛光路径的优良性.
【作者单位】： 厦门大学物理与机电工程学院;
【关键词】： 抛光路径 光学试件 中频误差
【基金】：国家自然科学基金(51275433) 国家科技重大专项(2013ZX04001000-206)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 281-285.Citation:Lin Guidan,Bi Guo,Hu Chenlin,et al.The effect of polishing paths on the mid-frequency error of optical components[J].Journal of Xiamen University:Natural Science,2015,54(2):281-285.(in Chinese)精密、超精密光学元件在航空、航天、国防以及民

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本文编号：1021893