一种变频相移干涉测量的相位提取算法

发布时间：2017-10-13 20:07

  本文关键词：一种变频相移干涉测量的相位提取算法

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【摘要】：相位提取的精度直接影响相移干涉测量的精度。在变频相移干涉测量中,相移量由干涉腔长和波长变化量决定,必须对测试系统进行相位标定,但常因相位标定不精确而引入相移误差,影响相位提取的精度。运用一种基于迭代的相位求解算法,该算法无需对测试系统进行相位标定,可以在被测相位和相移量均未知的情况下,通过交替迭代法求解出被测相位。通过仿真比较了传统四步相移和基于迭代的相位求解算法的相位提取精度,结果表明,基于迭代的相位求解算法的相位提取精度优于传统四步相移算法的精度。
【作者单位】： 西安工业大学陕西省薄膜与检测技术重点实验室;
【关键词】： 测量 变频相移 相移干涉 相位提取 迭代算法
【基金】：国家自然科学基金(51075322) 陕西省教育厅高精度小平面干涉仪研制基金(12JS048)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言相移干涉测量技术是光学表面面形检测的重要手段之一。通常,相移方法可以分为两类:硬件相移和变频相移。变频相移干涉是通过光源频率的改变来实现相位调制,其光源采用波长可调谐激光器。该方法测量装置简洁,可靠度高,测量精度高,能减少由环境变化引起的误差,消除传统硬件

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本文编号：1026807