亚表面损伤深度测量的理论研究与实验分析

发布时间：2017-10-13 23:50

  本文关键词：亚表面损伤深度测量的理论研究与实验分析

  更多相关文章： 测量 光学元件 亚表面损伤 全内反射法 驻波理论

【摘要】：光学元件的亚表面损伤指的是在加工过程中产生的划痕和裂纹等。在激光的照射下,亚表面损伤会使光场发生变化,并且随着激光照射时间的增加,裂纹会越来越大,产生散射,最终影响光束的能量集中度。基于全内反射法测量亚表面损伤的原理提出了一种新的估计损伤深度的方法。入射光波和出射光波在样品表面下方叠加形成驻波,入射光的偏振态以及入射的角度会影响样品内部的光强分布。通过分析亚表面损伤点的光强度和入射角之间的关系,能够由入射角的改变量来估算亚表面损伤的深度。
【作者单位】： 南京理工大学电子工程与光电技术学院;
【关键词】： 测量 光学元件 亚表面损伤 全内反射法 驻波理论
【基金】：国家自然科学基金(A030801)
【分类号】：TH74;O43
【正文快照】： 随着空间光学望远镜、受控核聚变,以及光刻技术的飞速发展,超光滑表面的光学元件得到了越来越多的应用,因此亚表面损伤的检测变得越发重要。它的存在直接影响着光学系统的成像质量、激光损伤阈值等重要技术指标[1-2]。相对于表面的损伤,亚表面损伤不能够直接测量,目前测量亚表

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前7条

1 田爱玲;田玉s，

本文编号：1027793