一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析

发布时间：2017-10-15 10:26

  本文关键词：一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析

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【摘要】：为了分析一维相移剪切干涉仪中调制度的变化规律和影响。研究了一维光栅相移剪切干涉仪的基本原理,推导了干涉光强公式和光强调制度函数。通过将泽尼克单项像差代入到调制度函数因子,分析了泽尼克像差、剪切比对调制度函数的影响,发现测量范围主要受到高级球差和大剪切比限制。设计了一维相移剪切干涉仪的可见光实验装置,在632.8 nm波长分别使用周期为9 mm、18 mm一维光栅测量了一个NA=0.25显微物镜的波像差,实验结果表明:光栅周期为18 mm时可以正确测量,光栅周期为9 mm时,调制度存在反转点,像差超出测量范围,并验证调制度函数分析结果的正确性。
【作者单位】： 中国科学院光电技术研究所;电子科技大学光电信息学院;中国科学院大学;
【关键词】： 测量 相移剪切干涉仪 调制度函数 波像差
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言波像差是评价光刻投影物镜性能的一个重要指标,直接影响光刻机整机的分辨率、临界尺寸、成像对比度,工艺窗口等。目前45 nm节点光刻投影物镜的波像差检测精度需要达到亚纳米量级,而且要求能够实现在线检测。相位测量干涉法具有检测速度快、精度高、重复性好、易于集成等

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1036595