气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响

发布时间：2017-10-16 10:06

  本文关键词：气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响

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【摘要】：为满足长光栅刻制气浮平台的设计要求,通过建立气浮导轨上气膜面的有限元模型,以承载能力、耗气量及流场"死区"速度作为性能指标,分析不同的节流器和均压槽形式对气浮导轨气膜特性的影响。结果表明:不同的导轨结构会造成压力场特性发生变化,进而影响气膜承载力、死区速度及耗气量;3×3节流器王字型均压槽的结构形式能有效提高承载能力,消除速度死区,且耗气量未明显增加,该结构能满足长光栅刻制对气浮平台长时间工作的要求。
【作者单位】： 岭南师范学院机电工程研究所;广东工业大学机电工程学院;
【关键词】： 气浮平台 承载力 速度死区 耗气量
【基金】：国家自然科学基金项目(50775043) 广东省自然科学基金项目(S2013010013385) 岭南师范学院校级青年基金项目(QL1403)
【分类号】：TH74
【正文快照】： j縥縥縥，

本文编号：1042062