工业型扫描探针显微系统样品快速定位方法

发布时间：2017-10-17 09:11

  本文关键词：工业型扫描探针显微系统样品快速定位方法

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【摘要】：针对工业型扫描探针显微镜(SPM)在大尺寸晶圆样品检测中对扫描区域进行粗定位的需要,提出了一种基于数字图像处理的快速定位方法.该方法首先实现对样品表面的快速自动聚焦,之后利用图像匹配技术寻找样品表面的定位标记,最后通过坐标变换得到各待测区域在系统坐标系下的位置.根据晶圆样品表面的特征,在自动聚焦过程中选取Robert算子作为聚焦评价函数,并以变步长的爬坡策略搜索焦平面;在图像匹配过程中采用SURF算法提取图像上的标记特征,并利用双向匹配方式提高匹配准确性.实验表明,采用该方法实现粗定位耗时小于30s,定位误差小于5μm.
【作者单位】： 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;
【关键词】： 工业型扫描探针显微镜 自动聚焦 图像匹配 定位方法
【基金】：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA041204) 国家自然科学基金资助项目(61204117)
【分类号】：TH742
【正文快照】： 扫描探针显微镜(SPM)具有亚纳米级的超高分辨力,在微纳米尺度的材料结构表征和物理特性检测方面有着广泛的应用[1].实验室中科研型的SPM通常只用于检测小尺寸样品,所得形貌图像仅反映样品表面起伏而不包含三维结构的侧壁信息[2].工业型SPM主要应用于半导体制造行业中的大尺寸(

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本文编号：1047970