一种连续加载的气浮导轨静刚度在位测量方法

发布时间：2017-10-17 15:37

  本文关键词：一种连续加载的气浮导轨静刚度在位测量方法

  更多相关文章： 空气静压 气浮导轨 气膜间隙 静刚度

【摘要】：根据空气静压导轨静态性能测试要求,提出了一种连续加载的气浮导轨静刚度在位测量方法。采用两台电感测微仪测量导轨滑台的位移量、小水泵抽水,以及电子称测量加载质量变化的方式,实现了对空气静压导轨连续加载和负载变化量与气膜间隙变化量的测量,实验结果与理论分析结果有较好的一致性,说明该实验方法是合理的,同时也表明了将该方法在空气静压导轨的静态性能测试中应用的可行性。
【作者单位】： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;
【关键词】： 空气静压 气浮导轨 气膜间隙 静刚度
【分类号】：TH703
【正文快照】： 0引言空气静压导轨具有摩擦小、寿命长、速度快、精密度高和无污染等优点,常被应用于三坐标测量仪、光刻机等精密机械[1-2]。对气浮支撑关键单元———气浮导轨静态性能的研究十分必要,对其静态性能的研究可以分为数值仿真分析和实验研究。数值仿真分析是以计算机及其相应的软

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 陈爱民;马平;龚政;;静压气浮导轨承载能力的解析法和有限元法对比分析[J];润滑与密封;2009年06期

2 夏欢;陶继忠;吴定柱;;空气静压立式主轴静态性能分析[J];润滑与密封;2010年08期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 周欢伟;;超精密机床气浮导轨的气体润滑研究[J];润滑与密封;2013年08期

中国硕士学位论文全文数据库 前4条

1 郭永红;数控车床静压气体轴承主轴系统动力学建模及静特性研究[D];东北林业大学;2011年

2 辛杰;极紫外光刻机工件台动力学建模及仿真[D];哈尔滨工业大学;2010年

3 王绍腾;光刻机双驱动微动台动态特性仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2011年

4 李海鹏;高速精密直线驱动式静压气浮平台的运动特性研究[D];广东工业大学;2012年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前6条

1 叶树亮;李东升;;应用有限体积法研究空气静压导轨力学特性[J];光学精密工程;2008年05期

2 张从鹏;刘强;;基于静压气浮导轨的直线电机高性能工作台的研制[J];机械科学与技术;2006年10期

3 戚社苗;耿海鹏;虞烈;;动压气体轴承性能计算方法研究[J];机械强度;2006年03期

4 马兰兰,李树森,苏健民;超精密气磁轴承的发展[J];林业机械与木工设备;2005年01期

5 徐丰仁,穆怀U，

本文编号：1049648