面向微型近红外光谱仪的高效扫描光栅微镜设计（英文）

发布时间：2017-10-18 02:13

  本文关键词：面向微型近红外光谱仪的高效扫描光栅微镜设计（英文）

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【摘要】：近年来,随着微光机电系统(MOEMS)技术的快速发展,光谱仪朝着微型化、低成本、高性能方向发展。基于MOEMS技术制作的闪耀光栅可集成于扫描微镜,其作为近红外光谱仪的核心部件,可实现单管探测器代替昂贵的阵列式探测器,以降低近红外光谱仪成本与体积。设计了一种高性能扫描光栅微镜,以提高光谱仪的探测灵敏度。扫描微镜表面集成高衍射效率光栅,背面制作电磁驱动线圈。采用光学软件与有限元方法对器件参数进行优化。仿真结果表明:扫描光栅微镜谐振频率为484.38Hz,最大扭转角度为±4.55°,在800~1800nm工作波长范围内,整体动态衍射效率在54%以上且最大值达90%。
【作者单位】： 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室;重庆大学微系统研究中心;
【关键词】： 扫描光栅微镜 高衍射效率 近红外光谱仪 电磁驱动
【基金】：supported by the Special Funds of the National Natural Science Foundation of China(61327002)
【分类号】：TH744.1
【正文快照】： Nowadays,NIR　micro-spectrometers　have　been　widely　used　to　investigate　the　quality　of　foods,air　pollu-tion　and　medical　applications.Conventional　NIR　spectrometers　have　a　series　of　disadvantages,such　as　largepower　consumption,high

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本文编号：1052355