用计算全息法测量长焦透镜的透射波前

发布时间：2017-10-19 11:32

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【摘要】：为了高精度地检测长焦透镜的透射波前,提出了在Zygo干涉仪的平面光路中加入一个二元衍射元件提供参考波前的计算全息法(CGH)。介绍了计算全息法检测长焦透镜透射波前的理论,设计并研制了高精度计算全息板,并将其用于大口径长焦距透镜透射波前检测。理论分析和实际检测结果表明:该方法系统误差小,测量重复性精度优于0.004λ(2σRMS),与常规的菲索干涉法测量球面透镜透射波前得到的结果一致,从而验证了提出测量方法的可靠性。最后,详细分析了二元衍射元件的制造误差对透射波前检测的影响,得到测量误差(PV)小于λ/10。文中的结果表明提出的计算全息法可有效缩短光路,提高测量精度,对长焦透镜波前检测有重要的应用价值。
【作者单位】： 中国物理工程研究院激光聚变研究中心;
【关键词】： 长焦透镜 透射波前 光学检测 干涉检测 计算全息术 误差分析
【基金】：中物院校准和测试实验室研究项目(No.155009)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言现代光学发展对光学元件的需求日趋增大。为保证光学系统的性能,要求光学元件的加工精度小于1个波长,由此发展了很多高精度的光学测试方法[1-3]。透镜的焦距、曲率半径、折射率、波前等参数的检测在很多应用领域都非常重要,其中,透镜的波前参数可提供透镜表面质量方面的

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本文编号：1060861