高精度平面绝对标定

发布时间：2017-10-19 17:17

  本文关键词：高精度平面绝对标定

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【摘要】：在高精度面形检测中,绝对标定是提高检测精度的重要方法。但在平面绝对标定中,无论是经典的三平板绝对检测还是旋转平移绝对检测都无法对平面的power项进行绝对标定。而利用液面进行绝对标定虽然可以给出完整的平面标定,但是液面易受环境影响,重复性难以提高,因此标定精度往往不高。针对这一难题,利用Fizeau干涉仪,采用液面方法对平面的power项单独进行绝对标定,结合旋转平移绝对标定方法对平面其他Zernike项进行标定,从而得到了完整的高精度的平面绝对标定。不仅提高了检测精度,也对平面进行了完整的高精度标定,大大提高了干涉仪的检测精度。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【关键词】： 测量 面形检测 绝对标定 液面 旋转平移绝对标定
【基金】：国家科技重大专项(2009ZX02205-004)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言在光学元件面形检测中,基于干涉仪的干涉测量方法以其精度高、无损伤、测量迅速等优点,在高精度检测领域获得了广泛的应用。光学检测的能力从侧面也反映了一个实验室或者光学车间的光学制造能力。Fizeau型干涉仪是目前应用最为广泛的面形检测设备,其检测结果反映了被测面

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本文编号：1062325