基于新型探针的双频原子力显微系统开发

发布时间：2017-10-19 23:00

  本文关键词：基于新型探针的双频原子力显微系统开发

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【摘要】：传统原子力显微镜(AFM)在接触模式下工作时具有接触力较大、易损伤样品的缺点.本文通过对新型自感应音叉探针施加双频激励,使得AFM工作在轻敲模式下,减小了接触力和扫描过程中的侧向力影响,实现了样品表面力学特性和亚表面结构的表征.然后利用基于DSP的PI反馈控制模块,完成了线扫描实验,证明该双频原子力显微测量系统具有较好的测量能力.
【作者单位】： 精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学);
【关键词】： 原子力显微镜 音叉探针 双频激励 谐振频率 弹性模量
【基金】：天津市应用基础与前沿技术研究计划重点资助项目(14JCZDJC39400)
【分类号】：TH742
【正文快照】： 近年来随着科学技术的高速发展,观察、测量以及操纵纳米尺度的物体逐渐成为热门研究领域.原子力显微镜(AFM)依靠探针与被测样品之间存在的微弱原子力来检测物质表面形貌结构,突破了扫描隧道显微镜(STM)最大的技术瓶颈,实现了非导电样品表面结构的观测.AFM可以获得样品表面微小

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