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关于改善石英谐振器的温度梯度及测温方法的研究

发布时间:2017-10-20 23:05

  本文关键词:关于改善石英谐振器的温度梯度及测温方法的研究


  更多相关文章: 石英谐振器 热传导 温度梯度 温度误差 结构改进 间接测温方法


【摘要】:考虑到外界环境温度变化对石英谐振器输出的影响,提出了旨在减小石英谐振梁与外界环境温度之间温度梯度的结构设计和改进原则。一方面,通过传热学理论推导与ANSYS仿真建立了石英谐振器不同结构尺寸与温度梯度之间的关系,验证了该原则的有效性,并在此基础上对结构进行了改进,设计了一种具有更小温度梯度的石英谐振梁的结构。另一方面,提出了一种新型的间接测温方法,为后续准确的温度误差补偿工作建立条件。
【作者单位】: 微纳测控与低维物理教育部重点实验室惯性技术国防重点实验室北京航空航天大学;
【关键词】石英谐振器 热传导 温度梯度 温度误差 结构改进 间接测温方法
【基金】:长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT1203)
【分类号】:V241.4;TH811
【正文快照】: 0引言石英谐振器是石英振梁加速度计(VBA)的核心部件,其广泛地应用于航空航天领域,也是微机电系统(MEMS)中应用最为广泛的器件之一。在航天事业中,石英谐振器用于检测卫星的加速度大小,并作为反馈来调整卫星的姿态以确保其安全性[1]。目前,投入生产使用的石英谐振器的种类繁多

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