TOF-SIMS二次离子光学系统仿真研究

发布时间：2017-10-21 13:08

  本文关键词：TOF-SIMS二次离子光学系统仿真研究

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【摘要】：为实现飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)对二次离子束的提取并提高仪器的调试效率,采用离子光学仿真软件SIMION 8.0对TOF-SIMS二次离子光学系统进行仿真。以稳定同位素铜离子为对象,通过仿真,研究二次离子光学系统中二次离子提取系统透镜电极电压的调整对质量分辨率的影响,确定最佳透镜电极电压组合,并得到稳定同位素铜离子的仿真谱图。仿真研究表明:当初级提取电极电压为800 V、单透镜有效电极电压为-4 400 V时,质量分辨率最高。在TOF-SIMS实验平台上对铜样品靶进行实验测试,实验与仿真结果相吻合,表明设计的二次离子光学系统可用于TOF-SIMS仪器的二次离子束提取,为实验参数的选择提供参考,从而提高仪器调试效率。
【作者单位】： 吉林大学仪器科学与电气工程学院;中国地质科学院地质研究所;
【关键词】： 飞行时间二次离子质谱仪 二次离子光学系统 仿真 透镜电极电压 质量分辨率
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ050069)
【分类号】：TH843
【正文快照】： 0引言中间初TOF-SIMS是目前前沿的用于表面成分分析的级级提提科学装置之一,因具有分辨率高、灵敏度高和分析速单地取取度快等特点[1-2]微,在地球科学、环境科学、生物医学等透电电电样偏转板孔镜极极极品方面有广泛应用[3-4]。其原理是利用经过脉冲化的一次离子束轰击样品表

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1 郑少涛;饶咏初;;铈镧合金表面的TOF-SIMS探索[A];中国核学会核材料分会2007年度学术交流会论文集[C];2007年

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本文编号：1073511