基于双激光束的微型光热驱动器研究

发布时间：2017-10-21 16:29

  本文关键词：基于双激光束的微型光热驱动器研究

  更多相关文章： 双激光束 光热偏转量 微型光热驱动器(OTMA) 光热膨胀

【摘要】：实现了一种利用双激光束(双光斑)的微型光热驱动的器(OTMA)。利用准分子激光微加工系统加工制作了膨胀臂宽为100μm、总长为750μm的非对称型OTMA;利用波长650nm的双激光束开展了OTMA的光热驱动实验研究,借助CCD显微视频运动测量系统,测定了光热偏转量与激光功率之间的关系曲线。实验结果表明,OTMA的光热偏转量与激光总功率之间近似成线性关系;当双光斑功率为4 mW时,OTMA获得的光热偏转量达到15.2μm,大于单光斑分别照射时的偏转量之和(13.1μm);同时,当双光斑照射与单光斑照射获得的光热偏转量相同时,双光斑的功率密度仅为单光斑的1/2甚至更小,从而可有效地避免单光斑照射时因局部温升过高而导致OTMA烧结损坏,延长了器件的工作寿命。本文的OTMA结构简单,易于加工,偏转量大,易于操作,并且可以实现无线远距离控制;可望在微纳米技术及微型光机电系统等领域获得广泛应用。
【作者单位】： 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;
【关键词】： 双激光束 光热偏转量 微型光热驱动器(OTMA) 光热膨胀
【基金】：国家自然科学基金(51077117)资助项目
【分类号】：TH703
【正文快照】： 1引言随着微纳米技术及微型光机电系统(MO-EMS)的快速发展,对微型驱动技术及微型驱动机构提出了新的要求。根据原理和技术方法的不同,现有的微驱动技术主要有微特电磁马达[1]、静*E-mail:zhanghj@zju.edu.cn电马达[2]、压电驱动[3,4]、磁致伸缩驱动[5,6]、形状记忆合金驱动和

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本文编号：1074313