AFM压电陶瓷驱动器类Hammerstein建模与参数辨识
本文关键词：AFM压电陶瓷驱动器类Hammerstein建模与参数辨识
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【摘要】：AFM(Atomic Force Microscope,原子力显微镜)中的压电陶瓷驱动器具有率相关迟滞非线性特性,这会影响AFM的扫描和定位精度。针对传统静态迟滞模型不能反映系统率相关动态迟滞特性的缺陷,提出Hammerstein模型以描述压电陶瓷驱动器的静态和动态迟滞特性。利用最小二乘支持向量机结合奇异值分解法对模型中的参数进行辨识。实验结果表明,模型能体现压电陶瓷驱动器的率相关迟滞特性,精度高于传统静态迟滞模型,建模方法对此类系统具有较好的应用价值。
【作者单位】： 中南大学高性能复杂制造国家重点实验室;
【关键词】： 压电陶瓷驱动器 非线性建模 Hammerstein模型 系统辨识 支持向量机
【基金】：国家重点基础研究发展计划基金项目(973)(2011CB013104)
【分类号】：TH703
【正文快照】： AFM中的压电陶瓷驱动器是扫描和成像系统中的关键部件[1],其响应速度快,具有纳米级的定位精度。但同时其输入输出表现为非光滑、多值映射的迟滞回环特性,即同一个输入电压值可能对应多个输出位移[2],若不对迟滞进行补偿,则会影响AFM扫描和定位精度,导致成像的畸变。因此,研究
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本文编号：1077357
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