基于多光束干涉的长程轮廓仪

发布时间：2017-10-22 20:27

  本文关键词：基于多光束干涉的长程轮廓仪

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【摘要】：为提高长程轮廓仪(LTP)面型检测的精度,提出一种使用波面型等光程多光束分束器的LTP。该分束结构可将入射光束分成若干束等光强等光程的相干光。在理论上分析计算了傅里叶变换(FT)透镜焦平面上干涉条纹的位置和强度分布,探究了零级干涉主极大条纹宽度、振幅和±1级干涉主极大条纹振幅与多光束分束器各结构参数之间的关系。通过选取合适的参数设计了基于多光束干涉原理的新型分束器,并与传统分束器进行了仿真实验比较,设计了测量系统中的准直镜和FT透镜,在Zemax软件中建立了完整的光学系统模型,并对该模型进行了实验验证。结果表明多光束干涉长程轮廓仪可以实现对被测表面斜率的测量,其在探测面上的干涉条纹宽度比传统双光束干涉窄,光强也更加集中,可以提高LTP的测量精度。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 测量 长程轮廓仪 分束器 多光束干涉
【基金】：国家自然科学基金青年科学基金(41104122) 科技部国际合作项目(2011DFR10010)
【分类号】：TH741
【正文快照】： 1引言长程轮廓仪(LTP)是检测同步辐射元件面型的主要光学仪器,广泛应用在世界多个同步辐射实验室中[1]。LTP基于细光束干涉原理[2-3],通过测量0323001-1被测干涉条纹与参考干涉条纹位置的偏移得到被测表面的斜率,最终获得被测表面的面型数据。LTP的结构最早由Takacs等[4]在198

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本文编号：1079975