新型AFM原子分辨率导电探针技术研究
本文关键词：新型AFM原子分辨率导电探针技术研究
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【摘要】：目的制备新型导电探针,解决目前探针针尖曲率半径较粗、饱磁力大、调频困难、不容易得到高分辨图像等问题。方法向Si探针针尖蒸镀导电金属薄膜得到导电薄膜Si探针,镀Fe薄膜厚度约为几纳米,同时保证探针的曲率半径约10 nm。利用透射电镜观察和超高真空原子力显微镜扫描镀膜前后探针Na Cl(001)表面,分析其性能。结果自制的Fe薄膜Si探针由于蒸镀了金属薄膜,探针针尖性能稳定,Si探针扫描效果的悬挂键影响被消除,同时提高了系统的扫描分辨率。结论导电薄膜Si探针能够充分利用现有的仪器设备进行实验,具有造价低、使用简单、性能稳定等优点,可以作为将来磁交换力显微镜(MEx FM)的磁性探针来测试材料的表面磁信息。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学仪器与电子学院;大阪大学工学研究科;
【关键词】： 导电薄膜 Si探针 原子分辨率 磁交换力显微镜
【基金】：国家自然科学基金重点支持项目(91336110);国家自然科学基金杰出青年基金(51225504);国家自然科学基金(61274103)~~
【分类号】：TB306;TH742
【正文快照】： Received:2014-09-15;Revised:2014-10-224.大阪大学工学研究科精密科学应用物理学专攻,日本大阪565-0871)(1.National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology,North University of China,Taiyuan 030051,China;2.Key Laboratory of Instrumentation Science
【参考文献】
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，本文编号：1080434
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/yiqiyibiao/1080434.html
