利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形

发布时间：2017-10-26 09:36

  本文关键词：利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形

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【摘要】：为了利用三坐标测量仪实现对大口径非球面面形的检测,提出了大口径非球面面形三坐标拼接测试方法。对该方法的基本原理与具体的实现流程进行了分析和研究,并基于初级像差理论和最小二乘拟合建立了三坐标拼接检验大口径非球面综合优化数学模型。结合实例,对一口径为1 200 mm×434 mm的长条形SiC离轴非球面反射镜进行了两个子孔径的三坐标拼接检测,并将拼接测试结果与非球面全口径轮廓检测结果进行了比对,其PV值和RMS值的偏差分别仅为0.073μm和0.042μm;两种方法面形残差的PV值和RMS值分别为0.325μm和0.055μm。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;
【关键词】： 面形检测 大口径非球面 三坐标测量仪 子孔径拼接测试
【基金】：国家863计划(O8663NJ090) 国家973计划(2011CB0132005) 国家自然科学基金重点项目(61036015)
【分类号】：TH721
【正文快照】： 0引言在光学系统中使用非球面可以很好地平衡像差,提升成像质量,此外能够利用较少的光学元件满足光学系统指标要求,从而使光机结构趋于紧凑和简便,因此非球面被用于空间遥感、光电跟踪仪器、光刻设备、高性能照相(摄像)机等诸多光电仪器[1-5]。尤其在空间光学领域,由于非球面

【参考文献】

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【相似文献】

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本文编号：1098107